KDP ( Potassium Dihydrogen Phosphate  ，俗称KH2P04)结晶体是一个种功效优异的非线性光学用料 。具备较高的离子束损害阈值、较宽的透光频谱、最易生长大规格尺寸的单单晶体等优点  ，所有KDP多晶体目前为止是门头膏状激光器器和强机光强大等现代高新材料技术领域必然能被用来作为电光调制器、激光手术交流变频器、光电高速 旋钮等组件的光学晶体材料^[14] 。KDP硫化锌虽享有质量良好光学安全性能  ，但其质软、脆高朝、易潮解、易开裂等一产品危害于光学元器件封装生产加工的特点  ，这使用一般光学部件大多数按照的机磨、抛光制作加工处理的方法不实适合用在制作加工处理KDP单晶体  ，必须通过超精密模具生产加工技术 。

到目前为止  ，超精密仪器飞刀磨削是KDP硫化锌等大尺寸大小、高导致精度的软脆光学元件最理想的加工方法^[4] 。然而飞刀铣削手工加工的大质量刀盘在稳定旋转时原因幅度振动或偏转  ，会影响被处理零主件单单从表面质量  ，而KDP晶体加
工表ifn对中频波纹的标准特别严格-W此  ，寻找飞刀L刀削加_ 1:中频波纹的来源并多方面调控对惯忡约束核聚变工程项目的顺利实施j L有屯要的现实爱游戏(ayx)义 。对主轴振动困难  ，内部外学者己经当了大规模科研的工作 。Lee ^[5]和Cheung®对单点金刚石车削加工处理平台振动进行了全方位而进一步的讲解  ，他们将k轴镗孔系统等效为-维肌尼系统  ，解析了切屑性能指标、村料各向男人等对主轴振动的影响  ，井述立了面上形貌模拟实体模型；悦浆铭⁷将主轴系统等效为6个弹簧阻尼的二维系统  ，发展了主轴不均衡性质量及偏载力距会导致中轴线倾斜的现象;安成辉等^[8:利用刚体自行车运动的欧拉动力学方程式深入分析主轴的锻炼管理状况  ，察觉到了主轴振动中的存在一个面积约为主轴旋转频率1/6的低频振动信号  ，并将该频率信号觉得是飞刀车削加工外面中频波纹的来源 。

所以咧这篇文对于KDP结晶体超高精度生产制造生产制造中间的生产制造稳定量分析、要求难以保证的话题  ，以制造中心局主轴系统为科学研究对象  ，运用三维绘制软件SolidWorks建设了主轴系统类别  ，应用ANSYS Workbench软件确立了主轴系统限制儿分折校甩并推导出主轴系统的模态规格  ，通过LMS锤击实验所法进丨/•校态测试应予以验证通过有现儿模型制作及模态了解结果的合理性  ，并对主轴系统的较弱原则系统阐述简化方案格式 。

1制造管理中心结构尚介

KDP结晶超精密机械生产制作生产制作中间  ，如图1如图所示  ，圆弧刃金刚石高速钢锯片通过层面调整装置和刀盘安装在加工处理核心主轴t  ，并且以设拟定的运行半径发生变化主轴迅速旋转  ，同时  ，加工生产重点主轴沿Z向进给;KDP纳米线零件加工通过正空吸盘和支撑架确定在工做墙上  ，工做台沿X向进给  ，从而改变绕城高速旋转的飞刀对KDP纳米线部件的车削加工生产^B] 。

由左右对主轴系统进行模态分享、模态测试  ，收获以內结语：

(1) 再生利用SolidWorks软件对主轴系统进行三维建校  ，通过AXSYS Wmibem.h有限的元进行分析软件对主轴系统进行模态定性分析  ，第四通过实验英文模态研究  ，两者看得出的结果优于较最主要误差为4.9%  ，印证了有效元定性分析结果的靠得住性  ，为KDP晶胞超精密制造处理加工生产处理加工生产处理重心主轴系统的调整来设计各类轻考评设计确定了基础 。

(2) 主轴系统的一、二阶当下的频率非常接近  ，主轴系统的最大的位移发生在刀盘I:刃架Z向部位  ，三阶同有频率相对应的振型最大的位移也发生在刀盘上刀架Z向座位  ，表示刀盘为主轴系统的簿弱关键点 。改进方案设计为：刀盘规格不变  ，在刀盘后壳刀架所在位置处加设十字加强筋增大刀盘的刚度  ，减刀子盘变形 。

(3) 对赛果析了主轴系统的本身频率与第三方激振频率之间的关系  ，一阶之前频率252. 6Hz与高压油泵和气流栗的激振频率48Hz ~ 60Hz差距特别大  ，不会引发主轴系统学困生震荡 。

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